Прекратите тратить зря энергию: как правильно нагревать пластину
На производствах полупроводников потери энергии — это не просто проблема с бюджетом, это дефект в самой конструкции оборудования. Когда вы нагреваете пластину, вам нужно не просто больше тепла, а чтобы эта энергия достигала именно той поверхности, где она должна быть.
Поэтому мы используем отражатели, покрытые золотом. Это предотвращает утечку инфракрасной энергии в корпус оборудования.
Почему именно золото?
Большинство людей начинают с использования полированного алюминия или нержавеющей стали. Проблема в том, что эти материалы позволяют слишком многой энергии утечь. Золото же обладает высокой эффективностью при отражении инфракрасного излучения. Вместо того чтобы тепло рассеивалось во все стороны, золотое покрытие направляет фотоны обратно к пластине. Таким образом, достигается гораздо более высокий уровень нагрева без необходимости повышения напряжения и перегрузки системы.
Как справиться с теплом
Самое лучшее заключается в том, что благодаря высокой эффективности отражателей можно использовать лампы с более низкой мощностью, чтобы достичь нужной температуры. Вентиляторам также не нужно работать так усердно. К тому же нити ламп служат дольше, поскольку они не подвергаются чрезмерной нагрузке.
Однако необходимо быть осторожным с точностью расположения отражателей. Поскольку энергия сосредотачивается в одной точке, даже небольшая ошибка может привести к возникновению «точек повышенного нагрева». Также стоит проверить контроллеры PID. Отражатели очень быстро повышают температуру, поэтому настройки должны соответствовать этой скорости.
Обслуживание оборудования
Эти отражатели разработаны так, чтобы их можно было заменить без каких-либо изменений в электроснабжении или проводах. Это просто замена одного элемента на другой.
Еще один совет по чистке: золото является мягким материалом. Если техники будут использовать абразивные средства для чистки, они повредят покрытие, что снизит эффективность отражателей. Используйте только мягкую ткань и изопропиловый спирт. Следите за чистотой поверхности, ведь если на ней появится пыль, она будет блокировать излучение, и все будет как раньше.