Na fábrica de produção, o desempenho do processo de secagem do fotoreagente depende de um único fator: a temperatura do gabinete. Uma variação de 0,5°C já pode afetar as dimensões críticas do produto. Zonas frias podem prejudicar o funcionamento do fotoreagente, causando problemas como formação de resíduos e outras imperfeições. Por isso, desenvolvemos um sistema de aquecimento para o gabinete, visando eliminar essas variações térmicas.
O que é importante por trás disso tudo
Utilizamos emissores de calor infravermelho de onda média dentro de uma câmara isolada por quartzo. Trata-se de calor radiante, rápido e com baixa massa térmica. A uniformidade da temperatura dentro do gabinete fica entre ±0,1°C, e a repetibilidade, entre ±0,05°C, de lote em lote. O sistema de controle é do tipo PID, com resolução de 24 bits, calibrado com sensores precisos.
Todas as superfícies em contato com líquidos são feitas de aço 316L, eletropolido. Todos os selos são resistentes a solventes e ácidos. O sistema de aquecimento é compatível com ambientes de sala limpa, atendendo aos padrões ISO Classe 1–100. A geração de partículas é reduzida graças ao fluxo laminar e à filtragem de qualidade HEPA na saída de ar. A densidade de potência é ajustada de acordo com o volume do gabinete; há opções de tensão de 120 V a 480 V, conectores compatíveis com normas CE e proteção contra vazamentos de terra.
Por que funciona bem na litografia
No processo de litografia, o gabinete mantém a temperatura exata necessária para a secagem do fotoreagente. Não há zonas quentes que possam causar problemas, nem zonas frias que possam reter solventes. Isso resulta em espessura uniforme da camada aplicada, menos necessidade de reprocessamento e controle estável das dimensões do produto.
O consumo de energia é reduzido, pois os emissores de calor se ativam somente quando necessário. As perdas em modo de espera ficam abaixo de 1%. O equipamento foi projetado para operar 24 horas por dia, com tempo de vida útil superior a 50.000 horas. O acesso para manutenção é feito pelo painel frontal, minimizando o tempo de inatividade.
Detalhes práticos
O aquecedor requer um circuito elétrico dedicado e estável. Se você utilizar produtos químicos agressivos, é necessário realizar uma purga com nitrogênio limpo e seco. Caso contrário, pode haver formação de condensados, o que aumentará as variações térmicas. Certifique-se de que as dimensões do gabinete e dos selos estejam adequadas, e realize um mapeamento térmico durante a instalação. Isso ajuda a definir os pontos de controle e garantir a uniformidade do ambiente.