IR 램프가 생산된 웨이퍼들을 망치는 것을 막으세요.
고부하의 반도체 생산을 하고 있다면, IR 램프가 고장나는 상황은 악몽과 같습니다. 단순히 히터가 고장 나는 것뿐만 아니라, 석영관이 파손되면 공구 주변에 유리 조각과 금속 가루들이 흩날립니다. 그렇게 되면 한 번에 전체 웨이퍼들이 폐기됩니다. 정말 화가 나고 비용도 많이 듭니다. 하지만 이런 상황은 피할 수 있습니다.
그래서 우리는 “최악의 상황”을 고려하여 램프를 설계합니다.
혼잡한 상황을 방지하기 위해
우리는 석영관이 견딜 수 있기를 바랄 뿐만 아니라, 이중 구조를 사용합니다. 석영관 자체는 열충격에도 견딜 수 있지만, 우리는 그냥 그대로 두지 않습니다. 램프를 보호용 커버로 감싸줍니다. 이 커버는 일종의 안전망 역할을 합니다. 만약 램프가 열적 충격으로 인해 깨지거나 고장 난다 해도, 커버가 그 파편들을 막아줍니다. 그렇게 되면 웨이퍼들은 여전히 깨끗한 상태를 유지할 수 있습니다.
열 관리
고순도 석영을 사용함으로써, 가열될 때 발생하는 이상한 기체 문제를 줄일 수 있습니다. 또한, 필라멘트가 위치하는 곳도 신중하게 선택됩니다. 위치를 최적화함으로써, 석영관 벽에 생기는 과열된 부분을 없앨 수 있습니다. 과열된 부분이 없으면 스트레스로 인한 균열도 줄어들고, 램프가 고장날 가능성도 낮아집니다.
하지만 한 가지 팁을 드리자면, 램프에 너무 높은 전압을 가하지 마세요. 몇 초를 절약하기 위해 전력을 높이는 것은 유혹적일 수 있지만, 그렇게 하면 램프가 고장날 위험이 훨씬 커집니다. 권장된 전압을 준수하세요.
타협점
물론, 완벽한 것은 없습니다. 보호용 커버를 사용하면 IR 성능이 약간 떨어집니다. 하지만 제 생각에는, 완전한 안정성을 위해서는 그 정도의 희생은 감수해야 합니다. PID 설정을 조정함으로써 목표하는 가열 속도를 얻을 수 있습니다. 그러면 유리가 파손되어 생산이 망가지는 일도 없을 것입니다.