MEMSセンサーワイヤー用乾燥ヒーター

MEMSウェーハを乾燥させるためのより良い方法：なぜ私たちは赤外線を使うようにしたのか 正直に言って、従来のウェーハ乾燥法はひどいものです。化学溶剤や重金属、そしてVOCといった有害物質が存在するため、クリーンルームというよりは、まるで化学実験がうまくいかない場所のようです。 私たちはそうしたもの...