ファブ内では、フォトレジストの加熱処理の性能は、単にキャビネットの温度次第です。0.5℃の温度変動だけで、回路の寸法に影響が出ます。また、低温部分があるとフォトレジストがうまく機能しなくなり、不良が発生します。私たちは、このような温度変動を排除するために、専用のヒーターを開発しました。
内部で何が重要か 石英で隔離されたチャンバー内に中波赤外線放射体を設置しています。これにより、迅速かつ効率的に加熱が行われ、熱容量も最小限に抑えられます。キャビネット内の温度均一性は±0.1℃以内であり、バッチ間の再現性も±0.05℃以内です。制御方式はPIDで、24ビットの分解能を持ち、信頼性の高いセンサーを使用して校正されています。
すべての接触面は電解研磨済みの316L材でできており、各シール部品も溶剤や酸に耐えられるように設計されています。ヒーターの形状もクリーンルーム向けに最適化されており、ISOクラス1～100に対応しています。層流式の設計と排気時のHEPAフィルターにより、粒子の発生を抑制しています。電力密度はキャビネットの容積に合わせて調整されており、120Vから480Vの電圧対応で、CE規格に準拠したコネクタや接地漏れ防止機能も備わっています。
なぜリソグラフィーに適しているのか リソグラフィーにおいて、このキャビネットはフォトレジストの加熱処理に必要な正確な温度を維持します。過度な加熱による不良や、低温による溶剤の凝縮も起こりません。その結果、均一な膜厚が得られ、再作業が減少し、回路の寸法管理も安定します。
また、放射体は必要に応じてのみ加熱されるため、エネルギー消費量も低下します。待機時の損失は1％未満です。24時間365日の運用に耐えられ、平均無故障時間は50,000時間以上です。メンテナンスも前面パネルから行えるため、停止時間を最小限に抑えることができます。
実用的な詳細 ヒーターには、安定した電力供給が必要です。強力な化学薬品を使用する場合は、清浄で乾燥した窒素ガスを流してください。そうしないと結露が発生し、温度変動が大きくなります。キャビネットのサイズやドアのシール部品は、設置場所に合わせて選定し、設置時には温度分布の測定を行う必要があります。これにより、制御ポイントを設定し、レイアウトの均一性を確認できます。