In der Fertigungshallen ist das Erhitzen des Photoresists ein entscheidender Prozessschritt, den man auf keinen Fall vernachlässigen darf. Eine Abweichung von 2°C während des Erhitzens kann dazu führen, dass die kritischen Abmessungen beeinflusst werden – und dann muss die Produktion gestoppt werden. Wir haben diese Quarzkappe für die IR-Lampen in den Fertigungsanlagen entwickelt, damit das thermische Profil konstant bleibt – Schicht für Schicht.
Was wirklich wichtig ist
Die Kappe ist dafür ausgelegt, kurzwelliges Infrarotlicht durchzulassen. Dadurch reagiert sie schnell und ermöglicht eine präzise Kontrolle der Temperatur. Sie sorgt dafür, dass die Temperatur auf der gesamten Oberfläche des Wafers bei ±0,1°C bleibt – das bedeutet, dass jede Schicht des Photoresists die gleiche Temperatur hat. Die Kompatibilität mit Reinräumen ist bereits in der Konstruktion berücksichtigt: Das Material sowie die Oberflächenbeschaffenheit verhindern die Entstehung von Partikeln – somit kann man in Umgebungen der Klassifikationsstufen 1–100 arbeiten, ohne dass die Betriebszeit eingeschränkt wird. Dadurch ergeben sich wiederholbare Ergebnisse, konstante Reflexionswerte sowie eine stabile Leistung über Tausende von Stunden hinweg.
Warum das in der Lithografie wichtig ist
In der Lithografie bestimmt die Temperatur die Breite der Linien, die Haftung zwischen den Schichten sowie die Fehlerdichte. Diese Kappe stabilisiert den Erhitzungsprozess, reduziert Ausschuss und verkürzt die Qualifizierungszyklen. Zudem wird weniger Energie benötigt, da das System schnell das gewünschte Temperaturniveau erreicht und es dort mit minimalem Schwankungsbereich hält. Die Zuverlässigkeit dieser Lösung ermöglicht einen 24/7-Betrieb – was wiederum zu weniger Lampenaustauschen, weniger Alarmen sowie zu Planungsmöglichkeiten für Wartungsarbeiten führt.
Was man beachten muss
Bei der Installation ist eine genaue Ausrichtung der Lampen sowie die richtige Verbindung zu den Geräten unerlässlich. Eine Fehlkonfiguration kann zu Hotspots führen und die Lebensdauer der Lampen verkürzen. Überprüfen Sie vor der Installation unbedingt die Geometrie des Behälters sowie die Spannungsvorgaben. Arbeiten Sie außerdem nach sauberen Protokollen, damit keine Mikrokratzer entstehen, die die Leistungsfähigkeit beeinträchtigen könnten. Planen Sie regelmäßige Inspektionen ein, die mit Ihren Präventivwartungsarbeiten übereinstimmen.