Proč se v polovodičových vozících vzdáváme nuceného proudění vzduchu ve prospěch infračerveného zahřívání
Pokud jste strávili nějaký čas v klasické čisté místnosti, znáte ten postup. Používají se tam staromódní vozíky, které spoléhají na foukání horkého vzduchu kolem waferů, aby je udržely při správné teplotě. Problém? Je to pomalé. Nucené proudění vzduchu závisí na konvekci, což je v podstatě zdvořilý způsob, jak říct, že musíte jen sedět a čekat, než se vzduch konečně ohřeje substrát. V procesní lince s vysokými nároky není tento zpoždění jen otravné – je také drahé.
Skutečný rozdíl: infračervené zahřívání vs. konvekce
Jde o to, že infračervené zahřívání se vůbec nezabývá vzduchem. Prostě působí přímo na cíl pomocí elektromagnetického záření. V těchto vozících používáme lampy s krátkými vlnami, protože vyvolávají tepelnou reakci téměř okamžitě. Dojde k okamžitému zahřátí. Kromě toho systémy s nuceným prouděním vzduchu neustále bojují s klimatizačním systémem čisté místnosti, který se snaží všechno ochladit. Infračervené zahřívání takovou hru nehraje. Soustředí energii přesně tam, kam potřebuje. To znamená, že můžete přesouvat wafery mezi jednotlivými procesními kroky bez toho obávaného poklesu teploty během přepravy.
Složitá část (a jak se s ní vypořádat)
Nemůžete prostě odstranit topení a nahradit ho infračervenou lampou. Musíte správně nastavit hustotu energie. Lampy s vysokým výkonem vytvářejí velké množství tepla v malém prostoru. Pokud je vzdálenost mezi lampou a waferem i jen trochu špatná, vzniknou lokální body s vysokou teplotou. To není dobré. Aby vše zůstalo stabilní, doporučujeme použít regulátory PID. Bez přesného načasování riskujete, že na silikon dopadne příliš mnoho tepla příliš rychle, což může způsobit tepelný šok. A nezapomeňte na samotný vozík – potřebujete šasi, které dokáže odolat radiačnímu teplu bez deformace nebo aktivace alarmů v čisté místnosti.
Co to ve skutečnosti přináší vaší výrobě
Stále více výrobních zařízení s vysokou kapacitou přechází na infračervené zahřívání, protože to prostě dává smysl. Přestáváte bojovat proti zákonům fyziky a začínáte s nimi pracovat. Když eliminujete toto zpoždění při zahřívání, počet waferů za hodinu roste. Je to jednoduchá výměna: zbavíte se složitého systému provozu vzduchu a nahradíte ho přesnou radiální energií.