V prostorách pro výrobu fotoresistů záleží na výkonu ohřevu především na jedné věci – teplotě uvnitř skříně. Izochrone odchylka o 0,5 °C může ovlivnit kritické rozměry. Chladné místa mohou způsobit problémy s fotoresistem – objeví se nerovnosti a nečistoty na povrchu. Naše zařízení na ohřev chemikálií je navrženo tak, aby eliminovalo tyto variace v teplotě.
Co je důležité uvnitř skříně
Využíváme emitory středněvlnného infračerveného záření umístěné v komoře izolované kvartzem. Jedná se o radiantní teplo, které působí rychle a s minimální termickou hmotností. Rozložení teploty uvnitř skříně zůstává v rozmezí ±0,1 °C, přičemž opakovatelnost je na úrovni ±0,05 °C mezi jednotlivými sériemi. Regulační obvod funguje podle principu PID s rozlišením 24 bitů, kalibrovaný pomocí senzorů s přesnými hodnotami.
Všechny povrchy jsou elektropolárně upraveny z materiálu 316L a všechny těsnění jsou odolná vůči rozpouštědlům a kyselinám. Konstrukce ohřívače je vhodná pro použití v čistých prostorách – splňuje normy ISO tříd 1–100. Vznik částic je omezen díky laminárnímu průtoku vzduchu a filtračnímu systému typu HEPA. Hustota napětí je přizpůsobena objemu skříně – dostupné jsou konfigurace 120 V až 480 V, konektory odpovídající normám CE a ochrana proti úniku proudu do země.
Proč to funguje v litografii
V litografii skříň udržuje přesnou teplotu potřebnou pro správné zahřátí fotoresistu. Nejsou zde žádná horká místa, která by mohla způsobit problémy, ani chladné oblasti, které by mohly zadržovat rozpouštědla. Díky tomu máte konzistentní tloušťku filmu, méně oprav a stabilní kontrolu rozměrů.
Spotřeba energie klesá, protože emitory se rozehřívají pouze při potřebě – ztráty v režimu čekání jsou nižší než 1 %. Zařízení je určeno k nepřetržitému provozu po dobu více než 50 000 hodin. Přístup k servisním prvkům je možný přes přední panel, takže doba výpadku je minimální.
Zde jsou praktické detaily
Ohřívač potřebuje samostatný, stabilizovaný obvod napájení. Pokud používáte agresivní chemikálie, je potřeba provést čištění skříně suchým dusíkem – jinak se mohou tvořit kondenzační kapaliny a teplota se může měnit. Rozměry skříně a těsnění musí odpovídat velikosti prostoru, ve kterém bude skříň umístěna. Během instalace je potřeba provést měření teploty – to umožní nastavit správné hodnoty a ověřit rovnoměrnost teploty v celé skříni.