في أرضية المصنع، يكون دورة SRD هي النقطة التي قد يختلف فيها معدل الإنتاج بشكل كبير في لحظات. فالمصباح الذي لا يعمل بشكل صحيح يؤدي إلى ظهور علامات على الرقائق، وزيادة عدد الجسيمات، وبالتالي تحويل المواد الجيدة إلى نفايات. لذلك، قمنا بتصميم مصباح الأشعة تحت الحمراء الخاص بنا للقضاء على هذه المشاكل.
ما الذي يهم حقًا؟ يستخدم المصباح مصادر إشعاع تحت الحمراء ذات الموجات القصيرة، مع استخدام عدسات من الكوارتز، مما يسمح بتوجيه الطاقة مباشرة إلى مرحلتي الغسيل والتجفيف. تظل درجة الحرارة مستقرة ضمن نطاق ±0.1 درجة مئوية، بحيث تحصل كل رقاقة على نفس درجة الحرارة. يمكن تغيير درجة الحرارة في أقل من 200 مللي ثانية، مما يوفر التحكم الدقيق دون أي انحرافات.
المصباح مناسب للاستخدام في الغرف النظيفة من الفئة 1 إلى الفئة 100. الهيكل مغلق، ومسار الإشعاع مصمم بحيث لا ينتج أي جسيمات. يظل الإخراج مستقرًا لأكثر من 5,000 ساعة، مع انحراف في الشدة لا يزيد عن 5%.
لماذا يعمل المصباح بشكل جيد في عملية SRD؟ في عملية SRD، نحتاج إلى تجفيف مستمر دون إتلاف الرقائق أو تلف الأنماط الموجودة عليها. يساعد المصباح السريع في الحفاظ على درجة الحرارة ضمن النطاق المطلوب، مما يحافظ على سلامة الرقائق بعد عمليات الخبز.
ينتج عن ذلك تجفيف مستمر وموحد، وانخفاض في كثافة العيوب، بالإضافة إلى تقليل عدد الرقائق التي يجب إعادة معالجتها. كما يقل استهلاك الطاقة، لأن المصباح يصل إلى درجة الحرارة المطلوبة بسرعة، مما يقلل من إنتاج الحرارة الزائدة داخل الغرفة. كما يتحسن وقت التشغيل، لأن المصباح مصمم للعمل على مدار 24 ساعة يوميًا، وهوكذلك مصمم ليكون ذا عمر طويل.
التفاصيل التي تجعل المصباح يعمل بشكل جيد يتناسب المصباح مع المعايير القياسية لعملية SRD، لكن يجب أن يتم تكييفه مع تصميم الأدوات المستخدمة، وتدفق الهواء، وخصائص جدران الغرفة. يجب التأكد من واجهة التركيب والعبء الحراري على نظام التبريد؛ فإذا لم يتم التحكم في التبريد بشكل صحيح، فإن درجة الحرارة ستختلف.
يُنصح بإجراء اختبارات قصيرة للتأكد من أداء المصباح مع ظروف الغرفة.